嘉兴晶控电子有限公司

金是广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学温定性，易于沉积

。金适合于低应力材料，如金，银，铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产

品，即使频率飘移1MHz，也没有负作用。然而，金电极不易弯曲，会将应力从膜

层转移到石英基片上。转移的压力会使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性。

镀低应力膜料时，选择镀金晶振片 常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu，这

些膜层几乎没有应力，在室温下镀膜即可。膜层较软，易划伤，但不会裂开或对

基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜，经验证明，可以在镀金晶

振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。

银铝合金晶振片近推出一种新型电极材料，适合高应力膜料的镀膜监控，

如Si0，Si02， MgF2，Ti02。这些高应力膜层，由于高张力或堆积的引力，经常

会使晶振片有不稳定，高应力会使基片变形而导致跳频。 银铝合金通过塑变或

流变分散应力，在张力或应力使基体变形前，银铝电极已经释放了这些应力。这

使银铝合金晶振片具有更长时间，更稳定的振动。实验室的实验表明镀Si02用

银铝合金晶振片比镀金寿命长400%。

使用银铝合金晶振片镀介质光学膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好

的光学透明区域或折射率特性，被广泛用于光学镀膜，但这些膜料也是难监控

的，只有基底温度大于200度时，这些膜层才会与基底有非常良好的结合力，所

以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上，在膜层凝结过程会产生巨大的应力，容

易使晶振片在1000埃以内就回失效。 这时候，选用合金晶振片将是的选择

，将大大减少调频机会。实验室显示，使用合金晶振片监视氟化镁，有效寿命比

镀金的长。如果把冷却水的温度从20度提高到50 度，晶振片的寿命更可以

再延长一倍